半導体洗浄のフッ化水素酸（フッ酸/HF）はなぜ危険？薬傷の仕組みとグルコン酸カルシウムの応急処置

この記事でわかること

• フッ酸が、特別に注意される理由
• 体についたときの、基本の流れ（洗い流す、ゲル、受診）
• 事前に、準備しておくこと
• 実際の作業で従うべきもの（SDSなど）

① フッ酸が、特別に注意される理由

洗浄で使う薬液は、どれも危険な物質です。なかでも、第2講で出てきたフッ酸は、特に注意が必要だとされています。

ワシントン大学の安全資料（フッ酸の注意書き）によると、フッ酸は、痛みがなくても、すぐに処置が必要な薬品です。皮膚についても、すぐには痛くない場合があり、あとから、深い組織が傷むことがあるからです。

また、オーストラリアの小児病院（王立小児病院）の診療ガイドは、皮膚からフッ酸が入ると、全身に低カルシウム血症（血液中のカルシウムが減ること）が起きることがあり、血液の検査や、心電図での監視が必要になる場合がある、としています。

② 体についたときの、基本の流れ

大学の安全資料などには、次のような流れが書かれています。

• すぐに、安全シャワーで洗い流す（約5分）。服には薬液がついているので、シャワーを浴びながら、薬液を広げないように気をつけて、脱ぐ
• グルコン酸カルシウムのゲル（約2.5％のもの）を塗る。救助が来るまで、10〜15分ごとに、すり込むように、塗り直す
• 痛みがなくても、必ず、医療機関で診てもらう

③ 準備しておくこと

資料では、フッ酸を使う場所のそばに、グルコン酸カルシウムのゲルを置いておくこと、そして、ゲルには使用期限があるので、期限に気をつけることが、勧められています。万が一のときに、すぐ使えるかどうかが、結果を分けるからです。

④ ほかの薬液でも、気をつけること

フッ酸だけではありません。RCA洗浄のSC-1とSC-2は、どちらも、70〜80℃の高温で使います（第3講）。高温の液は、液そのものの危険に加えて、やけどの危険があります。また、第4講で見たとおり、フッ酸は、石英ではなく、テフロンの容器に入れます。容器の材料を、まちがえないことも、安全の一部です。

ここで書いたのは、あくまで、入門の知識です。実際の作業では、職場の決まり・安全データシート（SDS）・指導者の指示に、必ず従ってください。この記事は、医療の助言ではありません。

これで、洗浄3級の本編は、ひと通りです。確認テストで、理解をたしかめてみましょう。

ことばのおさらい

フッ酸：自然酸化膜を落とすのに使う薬液。体につくと、痛くなくても、深い組織が傷むことがあります。

グルコン酸カルシウムゲル：フッ酸が皮膚についたときの応急処置に使うゲルです。

低カルシウム血症：血液中のカルシウムが減ること。フッ酸が皮膚から入ると起きることがあります。

SDS：安全データシート。薬品の危険性や、応急処置が書かれた資料です。

よくある誤解

Q. 痛くなければ、受診しなくてもよいですか？

いいえ。資料では、痛みがなくても、必ず、医療機関で診てもらうこととされています。

Q. うすめたフッ酸なら、安全ですか？

いいえ。この講座では、そう教えません。うすくても、扱いは、職場の決まりに従います。

参考にした情報

• University of Washington EH&S「Focus Sheet: Hydrofluoric Acid」（安全シャワー、ゲル、痛みがなくても処置が必要、体表面の約2％）
• The Royal Children’s Hospital Melbourne「Hydrofluoric acid exposure」（診療ガイド。低カルシウム血症）
• Purdue University「Hydrofluoric Acid」（大学の化学安全資料）