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荏原製作所が半導体製造で重要な理由を、CMP装置、工程、関連職種の視点から初心者向けに解説します。

リソグラフィとは、ウェハ上の膜に「どこを残し、どこを削るか」という回路の模様を写す工程です。成膜で作った薄い膜を、次のエッチングで加工できるようにする、半導体製造の要をやさしく解説します。