お知らせ

PVD（物理気相成長）は、材料を飛ばして膜を付ける方法です。なぜ真空が必要か、蒸着とスパッタの仕組みと違いを、図つきで初心者向けに解説します。

CVD（化学気相成長）は、ガスを表面で反応させて膜をつくる方法です。反応の例、LPCVDとPECVD、付き回りと膜の質を、図つきで初心者向けに解説します。

ALD（原子層堆積）は、原子の層を1枚ずつ重ねて膜をつくる方法です。1サイクルの4ステップ、自己制限、厚さの決まり方、使いどころを、図つきで初心者向けに解説します。

成膜した膜が狙いどおりかを確かめる方法を解説します。エリプソメトリでの膜厚測定、シート抵抗と四探針法、均一さと付き回り、応力、方法の使い分けまでを、図つきで説明します。

半導体チップは、絶縁する膜と電気を通す膜を重ねてできています。成膜とは何か、膜の4つの役目、大まかな方法を、図つきで初心者向けに解説します。

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