半導体の歴史と微細化

ASMLとは何をつくる会社か。1984年に雨漏りする小屋で始まった創業、存続の危機と最後の融資、EUVの光のつくり方、2012年に顧客3社が出資した決断までを、公式資料をもとに初心者向けに解説します。