ウェハ・材料 半導体のペリクルとは?フォトマスクを守る薄い膜の役割
半導体のペリクルとは何か。フォトマスクとは何か、ホコリが欠陥としてウェハに写る理由、ペリクルの役割、EUV用のマスクとペリクル、次世代のカーボンナノチューブの膜までを、一次資料をもとに初心者向けに解説します。
ウェハ・材料
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