MOL・BEOL Backside Power Deliveryとは?電源配線をチップの裏側へ移す理由
Backside Power Deliveryとは何か。先端チップで電源配線を裏側へ分ける理由を、frontsideの配線混雑、IR drop、backside via、ウェハ薄化と量産の難所から初心者向けに解説します。
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