お知らせ リソグラフィとは何か?光で回路の模様を写す半導体製造の要をやさしく解説
リソグラフィとは、ウェハ上の膜に「どこを残し、どこを削るか」という回路の模様を写す工程です。成膜で作った薄い膜を、次のエッチングで加工できるようにする、半導体製造の要をやさしく解説します。
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半導体製造工程
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