半導体ニュース 富士フイルム「プレスケールモーション」発売、ウエハ研磨の圧力変化を可視化
富士フイルムが2026年9月7日に発売したプレスケールモーション。ウエハ研磨の圧力変化を記録する仕組み、従来フィルムとの違い、公称仕様と導入効果を判断する際の限界を解説します。
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