検査・計測3級コースの紹介
半導体製造の「検査・計測」を、ゼロから5つの講義で学びます。工程の途中で測り、調べる理由と歩留まりから始め、膜の厚さと線の幅の計測、ウェハ表面の欠陥検査、組み立て前の電気テスト、そして検査データを工程の改善に使う管理図までを順に扱います。物理や化学の専門知識がなくても読めるよう、図と計算例で説明しています。
対象は、半導体の製造工程を基礎から理解したい学生・社会人、そして製造業から半導体の仕事に関心のある未経験の方です。講義の記事は誰でも読めます。
検査・計測コースで学ぶ講義（全5講）
この講座は、各講義の記事を読んだあと、小テストで理解を確かめる流れで進めます。ログインすると、小テストの結果と学習の進み具合が記録されます。
- 半導体の検査・計測とは？工程の途中で調べる理由と歩留まり、検査と計測の違いをわかりやすく解説【検査・計測3級・第1講】
半導体は、工程の途中で測り、調べて確かめます。歩留まりと、検査・計測の違いを解説します。 - 半導体の膜厚測定・寸法測定とは？エリプソメトリ・光の干渉・CD-SEMをわかりやすく解説【検査・計測3級・第2講】
膜の厚さと線の幅(CD)を、壊さずに測る方法を解説します。光の干渉、エリプソメトリ、CD-SEMを扱います。 - 半導体の欠陥検査とは？パーティクル・パターン欠陥と明視野・暗視野をわかりやすく解説【検査・計測3級・第3講】
ウェハ表面の異物や傷、パターンの欠けを見つける欠陥検査を解説します。明視野・暗視野と欠陥マップを扱います。 - 半導体の電気テストとは？ウェハプローブ・シート抵抗・パラメトリックテストと良品判定をわかりやすく解説【検査・計測3級・第4講】
組み立て前に行う電気テストを解説します。プローブカード、シート抵抗、ウェハマップによる良品判定を扱います。 - 半導体の品質管理とは？SPC・管理図の見方と、不良の原因さがしをわかりやすく解説【検査・計測3級・第5講】
検査や計測のデータを工程の改善に使う方法を解説します。管理図と、不良の原因さがしを扱います。