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半導体のパッケージの種類とは?QFP・BGAとチップレット、2.5D・3Dの入口をわかりやすく解説【後工程・パッケージ3級・第4講】

SEMICON CAMPUS 無料講座後工程・パッケージコース3級 入門 ・ 第4講
1QFP(上から見た図)リードが4辺に出る端子は、ふちの4辺だけ2BGA(下から見た図)はんだのボールが並ぶ端子は、底面いっぱい3チップレット(上から見た図)大きさの違うチップが並ぶ小さなチップを1つの中にQFP
左から右へ、端子の場所が「ふち」から「面」へ、さらに「小さなチップを1つにまとめる」方向へ広がっています。(簡易の模式図)

今回のテーマは、

「パッケージには、どんな形があり、新しい組み立てでは何が変わるのか」

答え:端子の数が増えるにつれて、足をふちに並べる形(QFP)から、底面にボールを並べる形(BGA)へ広がりました。さらに、小さなチップを1つにまとめる、チップレットや、横に並べる2.5D、縦に積む3Dという考え方が出てきました。

黄色のマーカー = この講座のテストに出す重要ポイント

この記事でわかること

  • ① 形の移り変わり
  • ② QFP
  • ③ BGA
  • ④ チップレット
  • ⑤ 2.5Dと3D

※各節の「くわしく見る」は、計算で確かめたい人向けです。

① パッケージの形は、端子の数に合わせて変わってきた

大事なポイント:チップの端子が増えるにつれ、パッケージは、端子を「ふち」に並べる形から「面」に並べる形へ変わってきました。

第1〜3講で、パッケージは、チップを守り、つなぎ、熱を逃がすものだと学びました。形は1種類ではなく、チップの端子の数や用途に合わせて、いくつもの種類があります。参考にした資料にもとづいて、移り変わりをたどってみます。

  • DIP(デュアルインラインパッケージ):長方形の2辺に足が出た形で、基板の穴に差し込みます。初期のパッケージで、最初はセラミック、のちにプラスチックが使われました。
  • SOIC:基板の表面にはんだ付けする小型の形で、同じ数の端子をもつDIPと比べて、面積が30〜50%ほど小さくなります。基板の表面にはんだ付けすることを、表面実装といいます。
  • PGA:底面にピンが並ぶ形で、DIPでは端子の数が足りなくなったときに登場しました。
  • QFP、TSOP:端子の数が多い部品の主力として、1990年代後半に最も多く使われました。
  • BGA:底面にはんだのボールが並ぶ形です。樹脂のBGAが、最もよく使われる方法の1つになりました。

この移り変わりの理由は、1つです。チップの回路が増えると、外へ出す端子も増えます。ふちに並べるだけでは足りなくなり、面に並べる形が増えました。パッケージの形は、端子の数をどう増やすかの工夫の歴史でもあります第3講で学んだフリップチップも、チップの面でつなぐ方法でした。

確認クイズ:チップの端子が増えると、パッケージの形はどう変わってきましたか?

答え:端子を、ふちに並べる形から、面(底面)に並べる形へ変わってきました。

② QFP:四方に足が出る、定番の形

大事なポイント:QFPは、パッケージの4辺に、カモメの翼のような形の足(リード)が出ています。

QFP(クアッドフラットパッケージ)は、4辺すべてに、「ガルウィング」(カモメの翼)の形に曲がったリードが出た、表面実装のパッケージです。リードは基板の表面にはんだ付けされます。参考にした資料によると、よくある種類で、32〜304本のリードがあり、リードの間隔(ピッチ)は0.4〜1.0mmです。薄い種類(LQFP、TQFP)や、熱を逃がす金属板が下に出た種類もあります。

一方で、QFPには限界があります。端子はふちにしか置けないため、本数を増やすには、リードの間隔を狭くするしかありません。すると、隣のリードとはんだがくっついてしまう(はんだブリッジ)おそれが増え、基板へのはんだ付けにも、より細かな位置合わせが要ります。資料でも、この限界を避けるために、PGAやBGAが使われると書かれています。QFPは、端子の数を増やすほど、はんだ付けがむずかしくなる形です

確認クイズ:QFPで、端子の本数を増やすために、リードの間隔を狭くすると、どんな問題が起きやすくなりますか?

答え:隣のリードとはんだがくっつく「はんだブリッジ」が起きやすくなります。

くわしく見る:QFPに並べられるリードの数(考え方の例)

1辺14mmの範囲に、リードを0.5mm間隔で並べるとします(仮の値で、角の余白は考えません)。1辺に並べられる本数は、およそ、

14 ÷ 0.5 = 28本

4辺では 28 × 4 = 112本です。もっと多くしたいとき、間隔を0.4mmにすると、1辺は 14 ÷ 0.4 = 35本、4辺で140本です。ただし、間隔を狭くするほどはんだブリッジが起きやすくなります。

③ BGA:底面いっぱいに、はんだのボールを並べる

大事なポイント:BGAは、底面全体にはんだのボールを並べ、ふちだけの形より多くの端子をつくれます。

BGA(ボールグリッドアレイ)は、パッケージの下の面に、パッドを格子状に並べ、そこにはんだのボールをつけた形です。ピン(足)のかわりに、ボールが出ています。参考にした資料によると、次のように使います。基板の上にパッケージを載せ、炉の中で熱すると、はんだのボールがとけ、表面張力で、パッケージが正しい位置に整います。そして、冷えて固まります。

ふちだけに頼らず、面全体を使えるので、端子の数を大きく増やせます。資料によると、利点は次のとおりです。

  • 端子の数:本数が、ふちの長さに縛られません。隣のはんだがくっつく危険も、QFPほど高くなりません。
  • 熱:基板へ熱が伝わりやすく、チップの熱が逃げやすくなります。
  • 電気:基板への接続がとても短いので、インダクタンスが小さく、速い信号に向きます。

一方、弱点もあります。はんだのボールは、リードのようには曲がらないので、温度変化や振動でひび割れることがあります。また、はんだ付けしたあとの接合部は、パッケージの下に隠れて、外から見えません。そのため、X線などで調べる必要があります。BGAは、端子を増やせる代わりに、接合部が見えにくく、ひびにも気をつける形です

確認クイズ:BGAのはんだ付けのあと、接合部を調べるためにX線などが使われるのは、なぜですか?

答え:接合部がパッケージの下に隠れていて、外から見えないためです。

くわしく見る:QFPとBGAの端子の数を比べる(仮の例)

どちらも、20mm角の大きさで考えます。QFPは、リードの間隔が0.5mmなら、1辺に 20 ÷ 0.5 = 40本、4辺で160本です。

BGAは、ボールの間隔が1.0mmで、20 × 20の格子なら、400個並べられます。中央の10 × 10を、配線しやすいようにあけたとすれば、

400 − 100 = 300個

です。間隔が2倍ゆったりしているのに、端子は約2倍近く(300 ÷ 160 ≒ 1.9)になります。値は考え方の例です。資料にも、最も内側をあけて、配線しやすくするBGAが多い、と書かれています。

④ チップレット:大きなチップを、小さなチップに分ける

大事なポイント:1個の大きなチップを、機能ごとに小さなチップ(チップレット)に分けて、1つのパッケージに載せる考え方です。

大きな1個でつくる小さな4個に分けてつくる(チップレット)全体が不良使える不良使える使える欠陥が1つあると、この全体が不良です不良は1個だけ。残る3個は使えます全体の面積は同じで、欠陥も1つ
同じ面積に欠陥が1つあるとき、1個でつくると全体が不良ですが、4個に分けてあれば、3個は使えます(簡易の例)。(簡易の模式図)

ここから、新しい組み立ての考え方に入ります。チップレットとは、大きなチップの機能の一部を受けもつ、小さなチップのことです。参考にした資料によると、複数のチップレットを、中継の板(インターポーザ)の上に載せ、1つのパッケージにして、1つの部品として使います。1個の大きなチップでつくる方法(SoCとよばれます)の、別の選び方です。

なぜ、分けるのでしょうか。資料には、理由が挙がっています。

  • 歩留まりと費用:小さなチップのほうが、歩留まりがよくなりやすい。また、チップレットは、組み立てる前に試験できるので、良品だけを使えます。
  • 工程を使い分けられる:演算の部分は新しい工程で、入出力の部分は古くて安い工程で、のように、部分ごとに別の工程や材料でつくれます。
  • 使い回し:同じチップレットを、いくつもの製品で使えます。

図のように、欠陥が1つ入ったときを考えます。1個の大きなチップなら、全体が不良です。4個に分けてあれば、不良なのは1個だけで、残りの3個は使えます。ただし、デメリットもあります。小さなチップを近づけて詰めるので、熱が集まりやすく、熱の逃がし方が設計の大きな課題になります。チップレットは、チップを分けて、あとで組み合わせる発想です

確認クイズ:チップレットで、良品だけを組み合わせて使えるのは、なぜですか?

答え:組み立てる前に、チップレットごとに試験できるからです。

くわしく見る:分けると、なぜ歩留まりがよくなるのか(単純な式の例)

欠陥が、ウェハのうえにでたらめに落ちると考えます。欠陥の密度を、1cm²あたり0.1個(仮の値)とすると、面積Aのチップの歩留まりは、おおよそ e−A×D(D=0.1)になります(単純なモデルです)。

面積4cm²の大きなチップは、e−0.4 ≒ 0.67、つまり約67%です。これを面積1cm²の4個に分けると、1個あたりの歩留まりは e−0.1 ≒ 0.90、約90%です。

捨てる面積の割合は、1個では約33%、分けると約10%です。分けたチップレットは、良品だけを選んで組み合わせられます。ただし、組み立てる工程でも不良が出るので、実際の差は、ここまで単純ではありません。▶ 2級でくわしく

⑤ 2.5Dと3D:横に並べるか、縦に積むか

大事なポイント:複数のチップを、インターポーザの上に横に並べる形を2.5D、縦に積む形を3Dといいます。

2.5D:横に並べる3D:縦に積む基板インターポーザチップAチップBインターポーザ:チップ間をつなぐ、シリコンの小さな基板基板チップAチップBチップC橙の縦線:TSV(チップを貫く縦の配線)
左は、中継の板(インターポーザ)の上にチップを横に並べる形です。右は、チップを縦に積み、縦の配線(TSV)でつなぐ形です。(簡易の模式図)

チップレットのような複数のチップは、どう組み合わせるのでしょうか。主な形は2つです。

  • 2.5D:チップを、インターポーザの上に、横に並べます。インターポーザは、チップどうしをつなぐ、シリコンの小さな基板のようなものです。資料には、2Dと3Dの長所を合わせた形、と書かれています。
  • 3D:チップを、縦に積み重ねます。縦にするので、配線が短くなります。

積み重ねたチップは、TSV(シリコン貫通ビア)でつなぎます。TSVは、チップを上下に貫く、縦の配線です。TSVは、トランジスタ1個に比べると大きいので、チップの面積を使います。積み方には、チップどうしを貼り合わせる方法、チップをウェハに貼る方法、ウェハどうしを貼る方法があります。ウェハどうしを貼る方法は、1層でも不良があると、積んだもの全体が不良になることがあります。

3Dの利点は、小さい面積に多くの機能が入ること、配線が短く、電力が減ること、縦に多くの配線を通せることです。一方、積み重ねた内側のチップは、熱が逃げにくく、材料の違いによる力(応力)も生じます。2.5Dも3Dも、第1講で学んだ熱の問題が、いっそう大きくなります。くわしい作り方、チップ間をつなぐ決まりごとは、2級で学びます。▶ 2級でくわしく2.5Dは横に並べ、3Dは縦に積みます。どちらも、熱の逃がし方が課題です

確認クイズ:チップを上下に貫いて、積み重ねたチップをつなぐ縦の配線を、何といいますか?

答え:TSV(シリコン貫通ビア)です。

この講のまとめ

この講のポイント

パッケージの形は、端子の数が増えるにつれて、ふちに並べる形(QFP)から面に並べる形(BGA)へ移ってきました。
BGAは端子を増やせますが、接合部が見えにくく、ひびにも気をつけます。
チップレットは、チップを小さく分けて1つにまとめる方法で、2.5Dは横に、3Dは縦に組み合わせます。

次の第5講では、組み立てが終わった部品を、最後の試験と、長く使えるかの試験で確かめる方法を学びます。

ことばのおさらい

  • QFP:パッケージの4辺に、カモメの翼の形のリードが出た、表面実装の形です。
  • BGA:底面に、はんだのボールが格子状に並んだ形です。
  • 表面実装:基板の表面に、部品をはんだ付けする方法です。
  • チップレット:大きなチップの機能の一部を受けもつ、小さなチップです。
  • インターポーザ:チップの下に置く、チップどうしをつなぐための中継の板です。
  • TSV:チップを上下に貫く、縦の配線(シリコン貫通ビア)です。

よくある誤解

Q. BGAは、QFPより必ずよい形ですか?

いいえ。BGAは端子を増やせますが、接合部が見えにくく、ひびにも気をつけます。端子が少ない部品では、QFPのほうが扱いやすいこともあります。

Q. 3Dに積めば、どんなチップでも性能が上がりますか?

いいえ。積むと、内側の熱が逃げにくくなり、材料の違いによる力も生じます。熱の設計が、大きな課題です。

参考にした公式情報

リードの間隔0.5mm、BGAの格子20×20、欠陥密度0.1個/cm²、面積4cm²と1cm²などの数値は、理解のために置いた仮の値です。歩留まりの式(e^(−A×D))、DIPの差し込み方、QFPのはんだブリッジの起こりやすさ、チップレットの詳しい比較は、一般的な知識にもとづく説明です。図は、記事用に描いた簡易の図です。

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